Hastighet, oppløsning, 2D eller 3D - avhengig av bruksområde har produsentene ulike prioriteringer når de inspiserer halvlederprodukter. Comet Yxlon tilbyr en rekke røntgen- og CT-inspeksjonssystemer som er skreddersydd for spesifikke inspeksjonsoppgaver.
2D-radioskopi
- Rask bildegenerering, ideelt for inspeksjoner underveis i prosessen
- Hovedanvendelse: tradisjonell emballasje
- Inspeksjon av enkle trådbondinger, vias og loddebumper
- Tilgjengelig med Cheetah og Cougar - det beste bildet på kortest mulig tid med submikrometeroppløsning
Computerlaminografi (CL)
- Bestemmelse av komponenters romlige egenskaper samt posisjon og størrelse på defekter
- Viktigste bruksområde: Avansert emballasje
- Prøvetakingsinspeksjon av flerlagspakker og integrerte enheter
- Tilgjengelig for Cheetah og Cougar med vertikal strålebane og høyeste oppløsning, samt for FF20 CT- og FF35 CT-systemene med horisontal strålebane
3D computertomografi (CT)
- 3D-målinger for å bestemme romlige egenskaper, defektposisjon og -dimensjoner
- Hovedanvendelse: detaljert defektanalyse
- Tilgjengelig med FF20 CT- og FF35 CT-systemene med intuitiv betjening takket være Geminy-brukergrensesnittet og som et tillegg med Cheetah og Cougar
- CT-måleteknikk