Stäubli Electrical Connectors AG
Stäubli Electrical Connectors AG
Renromsroboter for halvlederteknologi av Stäubli Electrical Connectors AG
Våre renromsrobotløsninger kombinerer presisjon, hastighet og renhet
Når det gjelder presisjon og hastighetkombinert med redusert partikkelforurensning, stiller elektronikk- og halvlederproduksjon høye krav til automatisering. Stäublis renromsroboter gjør det mulig å implementere svært effektive løsninger. Våre roboter kan håndtere silisiumskiver, FOUPs/kassetter samt fotomasker og paneler med svært høy presisjon og hastighet og med vibrasjonsfattige bevegelser gjennom hele verdikjeden for halvlederproduksjon.
Spesialutviklet for halvlederindustrien
De spesialutviklede seksaksede Supercleanroom-robotene (SCR) er konstruert for de strenge kravene i renromsmiljøer. De oppfyller standardene ISO 14644-1 klasse 2/3 eller FED209E Subclass 1. Maskinene har en fullstendig innkapslet arm av polyuretan med spesialbelegg og utmerker seg med imponerende manøvreringsevne på trange steder. Stäublis SCR-roboter er mer fleksible, har større nyttelast og lengre rekkevidde enn andre roboter for waferproduksjon. Dermed oppfyller de alle krav til håndtering av wafere, fotomasker og kassetter. Takket være det lille fotavtrykket til robotene kan verdifull installasjonsplass spares i spesialmaskinene.